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Novel structuring process for injection molding inserts by free-form reverse nanoimprint lithography

Kehaglas, N.; Fernandez, A.; Medina, J.; Francone, A.; Benkel, C.; Guttmann, M.; Thamdrup, L.H.; Bilenberg, B.; Nielsen, T.; Sotomayor Torres, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230101391
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 59th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology (EIPBN), San Diego, Calif., May 26-29, 2015
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