| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230101391 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Veranstaltung | 59th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology (EIPBN 2015), San Diego, CA, USA, 26.05.2015 – 29.05.2015 |