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Entwicklung einer Hochleistungsmikrowellenplasmaquelle und Integration derselben in eine industrielle Beschichtungsanlage

Ulrich, S.; Ye, J.; Schweiger, S.; Stüber, M.; Leiste, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230103279
HGF-Programm 43.22.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Treffen der INPLAS Arbeitsgruppe 'Neuartige Plasmaquellen und -prozesse', Alzenau, 19.März 2015
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