Entwicklung einer Hochleistungsmikrowellenplasmaquelle und Integration derselben in eine industrielle Beschichtungsanlage
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230103279 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erscheinungsvermerk | Treffen der INPLAS Arbeitsgruppe 'Neuartige Plasmaquellen und -prozesse', Alzenau, 19.März 2015 |