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New HiPIMS - microwave plasma source - hybrid technology for tribological and protective coatings

Ulrich, S.; Ye, J.; Stüber, M.; Leiste, H.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/230103280
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230103280
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erscheinungsvermerk 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015), Jeju, Korea, September 20-24, 2015
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