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New HiPIMS - microwave plasma source - hybrid technology for tribological and protective coatings

Ulrich, S.; Ye, J.; Stüber, M.; Leiste, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230103280
HGF-Programm 43.22.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015), Jeju, Korea, September 20-24, 2015
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