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A new high performance micro wave plasma source

Ulrich, S.; Ye, J.; Stüber, M.; Leiste, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230103281
HGF-Programm 43.22.01; LK 01
Erscheinungsvermerk robeko Hausmesse und Workshop für Plasmatechnologie, Münchweiler, 29.September - 1.Oktober 2015
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