A new high performance micro wave plasma source
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230103281 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erscheinungsvermerk | robeko Hausmesse und Workshop für Plasmatechnologie, Münchweiler, 29.September - 1.Oktober 2015 |