KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Manufacturing optical micro and submicro structures by modern computer design techniques

Beth, Thomas; Aagedal, Harald; Teiwes, Stephan



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Algorithmen und Kognitive Systeme (IAKS)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 234593
Erscheinungsvermerk In: Proceedings. Workshop on Micro Robotics and Systems, 1993. Ed.: R. Dillmann. S. 25-33.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page