Manufacturing optical micro and submicro structures by modern computer design techniques
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Algorithmen und Kognitive Systeme (IAKS) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 234593 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. Workshop on Micro Robotics and Systems, 1993. Ed.: R. Dillmann. S. 25-33. |