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Laser reflection measurements for end point detection and analysis in Nb/Al2O3-Al/Nb Josephson circuit fabrication

Dolata, Ralf; Neuhaus, Manfred; Jutzi, Wilhelm



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 237393
Erscheinungsvermerk Physica C 214 (1993) S. 365-370.
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