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Diffusion measurement of implanted Sb into Si, using SiO₂ encapsulation

Kotai, E.; Nagy, T.; Meyer, O.; Gyulai, J.; Revesz, P.; Mezey, G.; Lohner, T.; Manuaba, A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1978
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240012560
Erscheinungsvermerk Gyulai, J., Lohner, T., Pasztor, E.[Hrsg.]: Internat.Conf.on Ion Beam Modification of Materials, Budapest, September 4-8, 1978. Proc. Budapest: KFKI 1978. Vol.1
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