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Zur Problematik der quantitativen Bestimmung von Kohlenstoff, Stickstoff und Sauerstoff in duennen TiN-Schichten unter Verwendung der Auger-Elektronenspektroskopie

Schneider, H.; Nold, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1980
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240014696
Erscheinungsvermerk Kraft, G. [Hrsg.] Analysis of Non-Metals in Metals, Proc.of the Internat.Conf. held at Berlin, June 10-13, 1980 Berlin[usw.]: de Gruyter 1981
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