Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1981 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240016617 |
Erscheinungsvermerk | Blocher, J.M.; Vuillard, G.E.; Wahl, G. [Hrsg.] Proc.of the 8th Internat.Conf.on Chemical Vapor Deposition, Gouvieux, F, September 15-18, 1981 Pennington, N.J.: Electrochem.Soc.1981 |