Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1983 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240018459 |
Erscheinungsvermerk | Bloem, J. [Hrsg.] Chemical Vapour Deposition : Proc.of the 4th European Conf., Eindhoven, NL, May 31 - June 2, 1983 Eindhoven: Philips, 1983. - |