| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1983 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240018459 |
| Erscheinungsvermerk | Bloem, J. [Hrsg.] Chemical Vapour Deposition : Proc.of the 4th European Conf., Eindhoven, NL, May 31 - June 2, 1983 Eindhoven: Philips, 1983. - |