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Amorphization of niobium layers by phosphorus ion implantation

Linker, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1983
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240018633
Erscheinungsvermerk Biasse, B.; Destefanis, G.; Gaillard, J.P. [Hrsg.] Proc.of the 3rd Internat.Conf.on Ion Beam Modification of Materials, Grenoble, F, September 6-10, 1983 Nuclear Instruments and Methods, 209/210(1983) Part II
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