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Accuracy limits and potential applications of the LIGA technique in integrated optics

Muenchmeyer, D.; Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240024108
Erscheinungsvermerk Weck, M. [Hrsg.] Micromachining of Elements with Optical and other Submicrometer Dimensional and Surface Specifications, Den Haag, NL, April 2-3, 1987 Bellingham : Internat.Soc.for Optical Engineering 1987. - (Proc. SPIE ; 803)
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