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Mass production of microstructures with extreme aspect ratios by electroforming

Maner, A.; Harsch, S.; Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240024482
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.and Exhibition of Electroplating and Surface Finishing (SUR/FIN'87), Chicago, Ill., July 13-16, 1987 Proc. Chicago, Ill. : American Electroplators Society, 1987. - S.1/26 Plating and Surface Finishing, 75(1988) S.60-65
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