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Fabrication of microstructures using the LIGA process

Ehrfeld, W.; Bley, P.; Goetz, F.; Hagmann, P.; Maner, A.; Mohr, J.; Moser, H.O.; Muenchmeyer, D.; Schelb, W.; Schmidt, D.; Becker, E.W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240025028
Erscheinungsvermerk Proc.of the Micro Robots and Teleoperators Workshop, Hyannis, Cape Cod, Mass., November 9-11, 1987 New York, N.Y. : IEEE, 1987
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