| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240025716 |
| HGF-Programm | 16.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Conf.on Ion Implantation Technology, Kyoto, J, June 7-10, 1988 Nuclear Instruments and Methods B, 37/38(1989) |