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Electroforming techniques in the LIGA process for the production of microdevices

Maner, A.; Ehrfeld, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240025719
Erscheinungsvermerk Interfinish '88, 12th World Congress on Surface Finishing, Paris, F, October 4-7, 1988 Proc. Paris : AITE 1988
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