LIGA process: sensor construction techniques via X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240026134 |
| Erscheinungsvermerk | 1988 Solid State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head Island, S.C., June 6-9, 1988 Proc. New York, N.Y. : IEEE, 1988 |