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Definition of geometries with complicated, curved boundaries for electron beam pattern generation

Klein, U.; Goetz, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1989
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240026384
HGF-Programm 16.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 14th Internat.Conf.on Microlithography, Microcircuit Engineering 1988, Wien, A, September 20-22, 1988 Microelectronic Engineering, 9(1989)
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