Definition of geometries with complicated, curved boundaries for electron beam pattern generation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240026384 |
| HGF-Programm | 16.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 14th Internat.Conf.on Microlithography, Microcircuit Engineering 1988, Wien, A, September 20-22, 1988 Microelectronic Engineering, 9(1989) |