Prospective nonlithographic applications of a synchrotron radiation source for deep-etch lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240026386 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc. of the 3rd Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation, Tsukuba, J, August 28 - September 2, 1988 Review of Scientific Instruments, 60(1989) |