Milling and drilling using CO₂-clusters
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240026706 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 2nd Internat.Workshop on MeV and KeV Ion Cluster Interactions with Surfaces, Orsay, F, September 5-8, 1988 Journal de Physique, 50(1989) Colloque C2, Suppl.au n⁰ 2, /161 |