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Microfabrication of sensors and actuators for microrobots

Ehrfeld, W.; Goetz, F.; Muenchmeyer, D.; Schmidt, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240026945
Erscheinungsvermerk Proc.of the IEEE Internat.Workshop on Intelligent Robots and Systems - Toward the Next Generation Robot and System, Tokyo, J, October 31 - November 2, 1988 New York, N.Y. : IEEE 1988
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