Cluster ion source for Micromachining
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240027635 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the Internat.Conf.on Ion Sources, Berkeley, Calif., July 10-14, 1989 Review of Scientific Instruments, 61(1990) |