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Bildanalytische Qualitaetskontrolle in der Mikrofertigung. Ein vollautomatisches, hochflexibles und schnelles Strukturmesssystem

Buerg, B.; Guth, H.; Hellmann, A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Datenverarbeitung in der Technik (IDT)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240028344
HGF-Programm 16.04.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Burkhardt, H. [Hrsg.] Mustererkennung 1989 : 11.DAGM-Symp., Hamburg, Oktober 1989 Proc. Berlin [u.a.] : Springer, 1989
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