Fabrication of capacitive acceleration sensors by the LIGA-technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240028812 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the Internat.Conf. 'EUROSENSORS IV', Karlsruhe, October 1-3, 1990 Sensors and Actuators A, 25-27(1991) |