| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240028816 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | MICRO SYSTEM Technologies 90 : 1.Internat.Fachkongress, Berlin, 10.-13.September 1990 Anwenderforum Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1990 |