Movable microstructures manufactured by the LIGA-process as basic elements for microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240028817 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 90 : 1st Internat.Conf.on Micro, Electro, Opto, Mechanic Systems and Components, Berlin, September 10-13, 1990 Berlin [u.a.] : Springer, 1990 |