Ti- and Be-X-ray masks with alignment windows for the LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240029145 |
| HGF-Programm | 16.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Microcircuit Engineering 90, Leuven, B, September 18-20, 1990 Microelectronic Engineering, 13(1991) |