| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240029153 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micromechanics Europe 1990, Berlin, November 26-27, 1990 Technical Digest |