Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1990 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240029153 |
HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Micromechanics Europe 1990, Berlin, November 26-27, 1990 Technical Digest |