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COSMOS-2D. Automatisierte Vermessung von Mikrostrukturen

Buerg, B.; Guth, H.; Hellmann, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Datenverarbeitung in der Technik (IDT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240029427
HGF-Programm 16.05.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk MICROSYSTEMS 1990, ICC, Berlin, September 10-13, 1990 Karlsruhe, KfK, 1991
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