Komponenten in LIGA-Technik fuer Mikrosysteme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240029598 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Dokumentation Mikrosystemtechnik (MST), Muenchen, 8.November 1990 Muenchen : Messe- und Ausstellungsgesellschaft mbH, 1990 |