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Einsatz des LIGA-Verfahrens zur Herstellung von mikromechanischen Sensoren und Aktuatoren sowie mikrooptischer Komponenten

Mohr, J.; Bley, P.; Burbaum, C.; Goettert, J.; Menz, W.; Wallrabe, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240030277
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 21.-22.Februar 1991 Proc. Regensburg, 1991
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