Microactuators in LIGA technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240030292 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc. of the 3rd Internat.ISEM Symp.on the Application of Electromagnetic Forces, Sendai, J, January 28-30, 1991 International Journal of Applied Electromagnetics in Materials, 2(1992) (Elsevier Studies in Applied Electromagnetics in Materials ; 1) |