KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Einfuehrung in die Verfahren der Mikrostrukturierung

Menz, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240030293
HGF-Programm 16.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 21.-22.Februar 1991 Proc. Regensburg, 1991
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page