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Temperaturmessung auf einer 3 μm duennen Maskentraegerfolie waehrend des reaktiven Ionenaetzens

Schomburg, W. K.; Heidinger, M.; Kadel, K.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240030296
HGF-Programm 16.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Deutsche Tagung Plasmatechnologie, Dresden, 4.-5.April 1991 Info - Informationszeitschrift aus dem Hause Polytec, (1991) Juni
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