Temperaturmessung auf einer 3 μm duennen Maskentraegerfolie waehrend des reaktiven Ionenaetzens
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240030296 |
| HGF-Programm | 16.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Deutsche Tagung Plasmatechnologie, Dresden, 4.-5.April 1991 Info - Informationszeitschrift aus dem Hause Polytec, (1991) Juni |