KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Application of the LIGA process in fabrication of three-dimensional mechanical microstructures

Bley, P.; Menz, W.; Bacher, W.; Feit, K.; Harmening, M.; Hein, H.; Mohr, J.; Schomburg, W.K.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240030597
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Proc.of the 1991 Internat.Micro Process Conf., Kanazawa, J, July 15-18, 1991 Tokyo : Publ.Office, Japanese Journal of Applied Physics, 1992 (JJAP series ; 5)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page