Cluster ion sources
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240031043 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 4th Internat.Symp.on Ion Sources, Darmstadt-Bensheim, September 30 - October 4, 1991 Review of Scientific Instruments, 63(1992) |