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Cluster ion sources

Hagena, O.F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240031043
HGF-Programm 41.03.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Proc.of the 4th Internat.Symp.on Ion Sources, Darmstadt-Bensheim, September 30 - October 4, 1991 Review of Scientific Instruments, 63(1992)
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