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Theoretical and experimental results of an electrostatic micro motor with large gear ratio fabricated by the LIGA process

Wallrabe, U.; Bley, P.; Krevet, B.; Menz, W.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240031791
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk MEMS '92 - 5th Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Travemuende, February 4-7, 1992 Proc. New York [u.a.] : IEEE 1992
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