Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240031798 |
HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Geraetetechnik und Mikrosystemtechnik : Kongress, Chemnitz, 16.-18.Maerz 1992 Band 2 Duesseldorf : VDI-Verl., 1992. - (VDI-Berichte ; 960) |