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Alternative Methoden der Siliziumbearbeitung: Plasmaloses Aetzen mit halogenhaltigen Gasen. Mikrostrukturierung mit Diamantwerkzeugen

Bier, W.; Guber, A.; Koehler, U.; Linder, G.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240031798
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Geraetetechnik und Mikrosystemtechnik : Kongress, Chemnitz, 16.-18.Maerz 1992 Band 2 Duesseldorf : VDI-Verl., 1992. - (VDI-Berichte ; 960)
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