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3.5μm thin valves in titanium membranes

Schomburg, W.K.; Scherrer, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240032024
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Micromechanics Europe 1992 : 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, B, June 1-2, 1992 Workshop Digest
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