Examples and potential applications of LIGA components in micro-optics
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240032025 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Ehrfeld, W. [Hrsg.] Integrated Optics and Micro-optics with Polymers : Workshop, Mainz, March 12-13, 1992 Stuttgart [u.a.] : Teubner, 1993 (Teubner-Texte zur Physik ; 27) |