Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240032204 |
HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Micromechanics Europe 1992 : 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, B, June 1-2, 1992 Workshop Digest |