Microactuators fabricated by the LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240032208 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Borgmann, H. [Hrsg.] ACTUATOR '92 : 3rd Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 24-26, 1992 Conf.Proc. S.19-23 VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH, 1992 Journal of Micromechanics and Microengineering, 2(1992) S.234-41 |