X-ray masks with Tungsten absorbers for the LIGA-process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240032270 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Microelectronic Engineering 92, Erlangen, September 21-24, 1992 Microelectronic Engineering, 21(1993) |