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Depth profiles within glass samples from anodic bonding experiments with copper using SNMS

Goschnick, J.; Maas, D.; Schuricht, J.; Ache, H. J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Radiochemie (IRCH)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240032317
HGF-Programm 41.03.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Working Conf.on Applied Surface Analysis, Juelich, June 22-25, 1992 Fresenius' Journal of Analytical Chemistry, 346(1993)
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