Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240032700 |
HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Microelectronic Engineering, Erlangen, September 21-24, 1992 Microelectronic Engineering, 21(1993) |