High-intensity ionized cluster beams for surface modification: deposition and erosion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240032703 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Conf.on Ion Beam Modification of Materials (IBMM 92), Heidelberg, September 7-11, 1992 Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 80/81(1993) |