Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240032703 |
HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Conf.on Ion Beam Modification of Materials (IBMM 92), Heidelberg, September 7-11, 1992 Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 80/81(1993) |