Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240033414 |
HGF-Programm | 41.01.06 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 38.Internat.Wissenschaftliches Kolloquium 'Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik', Technische Hochschule, Ilmenau, 20.-23.September 1993 Tagungsbd. Ilmenau : Technische Universitaet, 1993 |