Design and test of electrostatic micromotors made by the LIGA-process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240033443 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Holler, E. [Hrsg.] 1st IARP Workshop on Micro Robotics and Systems, Karlsruhe, June 15-16, 1993 Proc. Karlsruhe : KfK, 1993 |