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Acceleration sensor with integrated compensation of temperature effects fabricated by the LIGA-process

Strohrmann, M.; Bley, P.; Fromhein, O.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240033444
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk EUROSENSORS VII, Budapest, H, September 26-29, 1993 Sensors and Actuators A, 41-42(1994)
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