Acceleration sensor with integrated compensation of temperature effects fabricated by the LIGA-process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240033444 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | EUROSENSORS VII, Budapest, H, September 26-29, 1993 Sensors and Actuators A, 41-42(1994) |