Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240033453 |
HGF-Programm | 52.01.13 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Weidelich, W. [Hrsg.] Laser in Engineering : Proc.of the 11th Internat.Congress, München, June 21-25, 1993 Berlin [u.a.] : Springer, 1994 |